システムは、キャスターと高さ調節可能な脚を備えた19インチキャビネットに設置される。 本格的なPLC制御システムは、異なるパラメータでプリセット可能なプロセスを保存するために使用される。
低圧プラズマ装置 V15-G
データシート
| システムタイプ | 19インチキャビネット |
| チャンバー寸法（幅×奥行×高さ） | 250 x 250 x 250 mm |
| マイクロ波出力 | 100-600 W |
| マスフローコントロール付きガスインレット | 1 |
| 電気接続 | 230/400 V、50/60 Hz |
| 接続負荷（ポンプなし） | 1.5 kVA |
| システム寸法（幅×奥行×高さ） | 670 x 900 x 1,850 mm |
オプション
| 追加ガス注入口 | 3 |
| その他の励振周波数（40 kHz、13.56 MHz） | |
| ソフトスタート／ソフトベンチレーション | |
| 側面からのマイクロ波カップリング | |
| ターンテーブル | |
| ロータリードラム | |
| ドア引き出し | |
| 自動ドア開閉 |
システム特性
- USB接続
- イーサネット・インターフェイス
- リモートメンテナンス（VPN）
- マイクロ波励起 (2.45 GHz)
- スイングドア
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