パワフルな卓上機器
標準的なV6-Gシステムは、工業用の少量生産にも、研究開発の実験室での使用にも適した卓上型ユニットです。 洗浄と活性化の表面処理工程に使用できる。
本格的なPLC制御システムは、異なるパラメータでプリセット可能なプロセスを保存するために使用される。
低圧プラズマ装置 V6-G
データシート
| システムタイプ | デスクトップ |
| チャンバー寸法（幅×奥行×高さ） | 170 x 200 x 170 mm |
| マイクロ波出力 | 50-300 W |
| マスフローコントロール付きガスインレット | 1 |
| 電気接続 | 230 V、50/60 Hz |
| 接続負荷（ポンプなし） | 0.5 kVA |
| システム寸法（幅×奥行×高さ） | 640 x 710 x 710 mm |
オプション
| 追加ガス注入口 | 2 |
| その他の励振周波数（40 kHz、13.56 MHz） | |
| ソフトスタート／ソフトベンチレーション | |
| 側面からのマイクロ波カップリング | |
| ターンテーブル | |
| ロータリードラム | |
| ドア引き出し | |
| 自動ドア開閉 |
システム特性
- USB接続
- イーサネット・インターフェイス
- リモートメンテナンス（VPN）
- マイクロ波励起 (2.45 GHz)
- スイングドア
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