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低圧プラズマによる表面処理

プラズマ活性化は、ポリマー材料の表面張力を増加させるために使用することができる。活性化することで、塗装、接着、印刷、成形などの後続工程が、材料に熱ストレスを与えることなく（コールドプラズマ）、刺激性のあるプライマーなしで可能になる。

プラズマ洗浄により、有機汚染物質を完全に除去。これは室温でのドライケミカルプロセスであるため、洗浄された部品はすぐに処理することができる。

プラズマエッチング（ドライエッチング）は、フォトレジストや犠牲層などの製造助剤の除去（「デスカム」、「デスミア」、「バックエッチング」など）に使用される。プラズマの顕著な移動性のおかげで、微細な構造にも到達することができる。

プラズマ・エンハンスト・ケミカル・ベーパー・デポジション（PECVD）では、プラズマ状態で適切な前駆体化合物を重合・堆積させることで、材料や被加工物に薄い機能層が形成される。

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