Sinteranlage
SIN 100 Multi Drive
Für das Sintern von Molded Packages auf Kühlkörpern in der Volumenfertigung
Flexibel und vollautomatisierbar
Die SIN 100 Multi Drive ist eine flexible Plattform, die entwickelt wurde, um die Produktionsanforderungen verschiedener Package- und Kühlkörper-Layouts zu erfüllen. Sie ermöglicht das gleichzeitige Sintern von bis zu vier Kühlkörpern.
Der flexible Einsatz von Werkzeugen ermöglicht weitere Prozesse wie Die Attach, Clip Attach oder Diffusionslöten.
Das System wurde entwickelt, um eine hochqualitative Serienfertigung technisch anspruchsvoller Bauteile zu ermöglichen. Die Anlage handhabt wärme- und druckempfindliche Vergussmassen fehlerfrei, während gleichzeitig Verformungen (Warping und Bow) der Kühlkörper kompensiert werden. Dies wird durch eine präzise Regelung von Kraft und Temperatur für jede einzelne Sinterverbindung erreicht.
Die flexible Werkzeugschnittstelle erlaubt einen schnellen und unkomplizierten Wechsel der Sinterwerkzeuge. Die breite Palette verfügbarer Werkzeuge erlaubt neben dem Package auf Kühlersintern auch Anwendungen wie Die Attach, Clip Attach oder Diffusionslöten.[
Innerhalb der Vakuumkammern können Substrat- und Package-Temperatur, Atmosphärendruck sowie Gaszusammensetzung während des gesamten Heiz-, Sinter- und Abkühlprozesses exakt gesteuert werden. Insbesondere durch die Kontrolle der Prozessatmosphäre und einem Restsauerstoffgehalt von <10ppm wird die Oxidation von Kupferoberflächen oder Kupferpartikeln vermieden.
Der Einsatz von Ameisensäure oder Formiergas erlaubt darüber hinaus eine In-situ-Deoxidation von Kupferoberflächen. Oxidfreie Oberflächen sind entscheidend, da saubere und reaktive Grenzflächen die Sinterfähigkeit von Silber- und Kupfermaterialien verbessern und eine hohe Oberflächenqualität gewährleisten.
Die SIN 100 Multi Drive kombiniert modulare Flexibilität mit präziser Prozesskontrolle und ermöglicht so ein zuverlässiges Sintern komplexer Packages bei geleichzeitig hohem Yield und Durchsatz.
SIN 100 Multi Drive
Systemeigenschaften
- Individuell gesteuerte, dynamisch einstellbare Presskraft
- Dynamisch gesteuerte und überwachte Druckrampen
- Gleichzeitiges Sintern von bis zu vier Kühlkörpern
- Hohe Flexibilität durch schnell austauschbare Presswerkzeuge
- Präzises Management der Prozessatmosphäre(N2, N2/O2, N2/H2, HCOOH)
- Geeignet für Ag- und Cu-Materialien sowie deren Verbindungen
- Druckbereich: 0,1 bis 1.200 mbar
- Temperaturbereich bis zu 350 °C
- Integrierte Booster-Heiztechnologie
- Dynamische Temperaturregelung zwischen Ober- und Unterstempel zur Minimierung thermischer Verzüge
- Hermetisch abgedichtete Prozesskammern
- Programmierbare, gesteuerte und überwachte Temperaturprofile
- Stetige Prozesskontrolle und Traceability
- Integrierte MES-Schnittstelle (z. B. SECS/GEM)
- Bedienung über Touch-Screen-Panel
- Modulares Design mit flexiblen Erweiterungsmöglichkeiten
- Flexibles Pin-Heizsystem
- International patentiert
Optionen
- Vorheiz- und/oder Kühlmodule
- Alternative Größen der Prozessfläche auf Anfrage
- Kundenspezifische Automatisierung
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