Niederdruck-Plasmaanlage V15-G
Standardsystem zum Aktivieren, Reinigen, Beschichten und Ätzen
Die Anlage ist in einem 19“- Schrank aufgebaut, der mit Rollen und höhenverstellbaren Füßen ausgestattet ist. Eine vollwertige SPS-Steuerung dient zur Speicherung von voreinstellbaren Prozessen mit unterschiedlichen Parametern.
Niederdruck-Plasmaanlage V15-G
Datenblatt
| Anlagentyp | 19"-Schrank |
| Kammerabmessungen (B x T x H) | 250 x 250 x 250 mm |
| Mikrowellenleistung | 100-600 W |
| Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control | 1 |
| Elektrischer Anschluss | 230/400 V, 50/60 Hz |
| Anschlussleistung (ohne Pumpe) | 1,5 kVA |
| Anlagenabmessungen (B x T x H) | 670 x 900 x 1.850 mm |
Optionen
| Zusätzliche Gaseinlässe | 3 |
| Weitere Anregungsfrequenzen (40 kHz, 13,56 MHz) |
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| Softstart / Softbelüftung | |
| Mikrowelleneinkopplung von der Seite | |
| Drehtisch | |
| Drehtrommel | |
| Türauszug | – |
| Automatische Türöffnung | – |
Systemeigenschaften
- USB-Anschluss
- Ethernet-Schnittstelle
- Fernwartung (VPN)
- Mikrowellenanregung (2,45 GHz)
- Schwenktür
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Typ |
V6-G | V10-G | V15-G | V55-G | V80-G-Side |
| Anlagentyp | Tischgerät | Tischgerät | 19"-Schrank | 19"-Schrank | 19"-Schrank |
| Kammerabmessungen (B x T x H) [mm] |
170 x 200 x 170 | Ø215 x 260 | 250 x 250 x 250 | 400 x 460 x 340 | 400 x 500 x 430 |
| Mikrowellenleistung [W] |
50-300 | 50-600 | 100-600 | 100-1.200 | 100-1.200 |
| Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| Elektrischer Anschluss | 230 V, 50/60 Hz | 230 V, 50/60 Hz | 230 V, 50/60 Hz | 230 V, 50/60 Hz | 230 V, 50/60 Hz |
| Anschlussleistung (ohne Pumpe) [kVA] |
0,5 | 1,5 | 1,5 | 2,2 | 2,2 |
| Anlagenabmessungen (B x T x H) [mm] |
640 x 710 x 710 | 720 x 820 x 820 | 670 x 900 x 1.850 | 670 x 900 x 1.850 | 850 x 900 x 1.850 |
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Optionen |
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| Zusätzliche Gaseinlässe |
2 | 2 | 3 | 2 | 2 |
| Weitere Anregungsfrequenzen (40 kHz, 13,56 MHz) |
- | - | |
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| Softstart / Softbelüftung | |
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| Mikrowellen- einkopplung von der Seite |
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| Drehtisch | - | - | |
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| Drehtrommel | |
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| Türauszug | - | |
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| Automatische Türöffnung | - | - | - | |
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