Niederdruck-Plasmaanlage V6-G
Standardsystem zum Aktivieren, Reinigen, Beschichten und Ätzen
Leistungsfähiges Tischgerät
Die Standard-Anlage V6-G ist als Tischgerät sowohl für die industrielle Kleinserienfertigung als auch für den Laborbereich in Forschung und Entwicklung geeignet. Sie kann für die Oberflächenbehandlungsverfahren Reinigen und Aktivieren eingesetzt werden.
Eine vollwertige SPS-Steuerung dient zur Speicherung von voreinstellbaren Prozessen mit unterschiedlichen Parametern.
Niederdruck-Plasmaanlage V6-G
Datenblatt
| Anlagentyp | Tischgerät |
| Kammerabmessungen (B x T x H) | 170 x 200 x 170 mm |
| Mikrowellenleistung | 50-300 W |
| Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control | 1 |
| Elektrischer Anschluss | 230 V, 50/60 Hz |
| Anschlussleistung (ohne Pumpe) | 0,5 kVA |
| Anlagenabmessungen (B x T x H) | 640 x 710 x 710 mm |
Optionen
| Zusätzliche Gaseinlässe | 2 |
| Weitere Anregungsfrequenzen (40 kHz, 13,56 MHz) |
– |
| Softstart / Softbelüftung |  |
| Mikrowelleneinkopplung von der Seite | |
| Drehtisch | – |
| Drehtrommel | |
| Türauszug | – |
| Automatische Türöffnung | – |
Systemeigenschaften
- USB-Anschluss
- Ethernet-Schnittstelle
- Fernwartung (VPN)
- Mikrowellenanregung (2,45 GHz)
- Schwenktür
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Typ |
V6-G | V10-G | V15-G | V55-G | V80-G-Side |
| Anlagentyp | Tischgerät | Tischgerät | 19"-Schrank | 19"-Schrank | 19"-Schrank |
| Kammerabmessungen (B x T x H) [mm] |
170 x 200 x 170 | Ø215 x 260 | 250 x 250 x 250 | 400 x 460 x 340 | 400 x 500 x 430 |
| Mikrowellenleistung [W] |
50-300 | 50-600 | 100-600 | 100-1.200 | 100-1.200 |
| Gaseinlässe mit Mass-Flow-Control | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| Elektrischer Anschluss | 230 V, 50/60 Hz | 230 V, 50/60 Hz | 230 V, 50/60 Hz | 230 V, 50/60 Hz | 230 V, 50/60 Hz |
| Anschlussleistung (ohne Pumpe) [kVA] |
0,5 | 1,5 | 1,5 | 2,2 | 2,2 |
| Anlagenabmessungen (B x T x H) [mm] |
640 x 710 x 710 | 720 x 820 x 820 | 670 x 900 x 1.850 | 670 x 900 x 1.850 | 850 x 900 x 1.850 |
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Optionen |
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| Zusätzliche Gaseinlässe |
2 | 2 | 3 | 2 | 2 |
| Weitere Anregungsfrequenzen (40 kHz, 13,56 MHz) |
- | - | |
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| Softstart / Softbelüftung | |
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| Mikrowellen- einkopplung von der Seite |
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| Drehtisch | - | - | |
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| Drehtrommel | |
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| Türauszug | - | |
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| Automatische Türöffnung | - | - | - | |
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