Vakuum-Lötanlage VADU 200XL-W

Löten von Substraten und Wafern in der Serienfertigung

Die Lötanlage des Typs VADU 200XL-W ist mit zwei getrennten Prozesskammern ausgestattet und sowohl für Pasten- als auch Preformlötungen ausgelegt.

Die VADU 200 XL-W ermöglicht das Löten von Wafern bis zu 12 Zoll. PINK bietet hierfür auch kundenspezifische Werkstückträger.

Sie ermöglicht eine präzise Regelung und Kontrolle aller relevanten Prozessparameter wie z.B. der Temperaturgradienten beim Aufheizen und Abkühlen. Aufgrund des intelligenten Temperaturmanagements verfügen die Systeme über sehr kurze Zykluszeiten und eine ausgezeichnete Temperaturkonstanz.

Vakuum-Lötanlage VADU 200XL-W

Vakuum-Lötanlage VADU 200XL-W
Icon Datenblatt

Datenblatt

Anlagentyp Batch System
Anzahl Vakuumkammern 2 Kammern
Nutzfläche (B x T) 410 x 320 mm
Durchschleushöhe max. 100 mm
Vakuum (Standard) ≤ 2 mbar
Anlagenabmessungen (B x T x H) 1.200 x 1.890 x 1.680 mm
Abmessungen des Pumpstands Integriert
Gewicht 1.200 kg
Elektrischer Anschluss 3 x 400 V, 50/60 Hz
Anschlussleistung 10 kVA
SMEMA-Schnittstelle
Icon Optionen

Optionen

Handling- / Transfersysteme JA
Integrierte MES-Schnittstellen (z.B. SECS/GEM) JA
Icon Systemeigenschaften

Systemeigenschaften

  • Lunkerfreie Lötverbindungen
  • Löten mit Preforms und / oder Pasten
  • Individuelle Lötprofile
  • Prozesstemperaturen bis 400 °C
  • Geregelte Temperaturgradienten
  • Kurze Zykluszeiten
  • Wafer bis 12"
  • Separate Löt- und Kühlkammer
  • Ameisensäureprozess für flussmittelfreie Lötungen
  • Kondensatabscheidung
  • Inerte Schutzgasatmosphäre
  • Restsauerstoffgehalt < 5 ppm
  • Reproduzierbarkeit der Lötergebnisse
  • Traceability (Rückverfolgbarkeit)
  • Stetige Prozesskontrolle
  • Ethernet-Schnittstelle
  • Fernwartung (VPN)
  • Geringer Energie- und Medienverbrauch

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Typ

VADU 100 VADU 200XL VADU 300XL VADU 400XL
Anlagentyp Batch System Batch oder Inline System Inline System Inline System
Anzahl Vakuumkammern 1 Kammer
mit 2 getrennten Prozesszonen
2 Kammern 3 Kammern 4 Kammern
Nutzfläche (B x T)
[mm]
168 x 280 410 x 280 410 x 280 410 x 280
Durchschleushöhe
[mm]
max. 50 max. 100 max. 100 max. 100
Vakuum (Standard)
[mbar]
≤ 2 ≤ 2 ≤ 2 ≤ 2
Anlagenabmessungen
(B x T x H)
[mm]
1.070 x 1.130 x 1.150 1.758 x 1.911 x 2.381 2.436 x 1.911 x 2.381 3.114 x 1.911 x 2.381
Abmessungen des Pumpstands
[mm]
Integriert 1.027 x 762 x 1376 1.027 x 762 x 1.996 1.027 x 1.452 x 1376
Gewicht
[kg]
500 1.500
(ohne Pumpstand)
2.000
(ohne Pumpstand)
2.600
(ohne Pumpstand)
Elektrischer Anschluss 3 x 400 V, 50/60 Hz 3 x 400 V, 50/60 Hz 3 x 400 V, 50/60 Hz 3 x 400 V, 50/60 Hz
Anschlussleistung
[kVA]
5 19 27 35
SMEMA-Schnittstelle JA JA JA

Optionen

       
Handling- /
Transfersysteme
JA JA JA JA
Löttemperaturen bis 500 °C JA JA JA JA
Induktionsheizung JA - - -
Integrierte MES-Schnittstellen (z.B. SECS/GEM) JA JA JA JA

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