オープンリール型システム
フレキシブルテープのプラズマ処理用オープンリール型
システム

オープンリール技術は、フレキシブルテープのプラズマ処理のために特別に開発された技術です。プラズマ処理中、テープが常にロールからロールへと巻かれていく仕組みになっています。搬送スピードはプラズマ処理の種類により異なります。

テープ状のサブストレートに使用されるプラズマ処理とは、エッチング、活性化、コーティング、洗浄です。プラスチックフィルムや、リードフレーム等のメタルストリップをプラズマ処理することが可能です。インターリーフ（保護フォイル）のあるテープの処理も可能です。