低圧プラズマによる表面加工

プラズマ活性化

プラズマ活性化

プラズマ活性化により、表面のポリマー素材の張力を高めることが可能です。活性化により、素材に刺激の強いプライマーや熱を加えることなく（コールドプラズマ）、塗装、接着、印刷、溶接等の処理加工が可能になります。

プラズマ洗浄

プラズマ洗浄

プラズマ洗浄は、有機的な汚れを表面に残しません。室温におけるドライケミカルプロセスであるため、洗浄した部品をすぐに処理加工することが可能です。

プラズマ エッチング

プラズマ エッチング

プラズマ エッチング（ドライ エッチング）は、フォトレジストや犠牲層等の製造補助素材の除去（「デスカム」、「デスミア」、「バックエッチ」等）を行います。プラズマの優れたモビリティにより、微細な構造まで処理することが可能です。

プラズマコー

プラズマコーティング

プラズマコーティング（PECVD = plasma enhanced chemical vapour deposition）は、プラズマ状態にて前駆体を重合することにより、素材や部品に薄い機能コーティングを施します。

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