ウルトラクリーンな表面洗浄

低圧プラズマ洗浄

表面の洗浄は、コーティングの吸着力の強化につながる等、産業においてとても重要な役割を担っています。

従来の洗浄プロセスでは、洗浄能力に限界があったり、化学洗浄プロセスにおける洗剤の跡が表面に残っていたり、すすぎや乾燥でも洗剤の残りかすが取れていなかったり、という問題がありました。

低圧プラズマ技術なら、有機汚染フリーの洗浄を実現することが可能です。わずか数分の処理時間でほとんど表面に跡が残らない、素晴らしい洗浄結果を実現することができます。

低圧プラズマの浸透力が洗浄に役立ちます。つまり、複雑な構造の機械部品における、液体では入り込むことができない、ごくわずかな隙間にもガスが浸透し洗浄します。

プラズマ洗浄の特徴は、ガスを発生させ揮発させるので、製品をサンプルチャンバから問題なく取り除くことができます。プラズマ核種が有機汚染物質と反応し、室温にて水と二酸化炭素へと分解します：

(-CH₂-CH₂-)n + 3n O₂ " 2n CO₂ + 2n H₂O

インテリジェントな自動化技術により、製造ラインへのプラズマシステムの統合が可能になりました。

適切なポンプシステムを選択することで、要件、周波サイクルに合ったエバキュエーション時間にまで時間を短縮することができます。さらに、モジュール式システムにより、迅速かつフレキシブルに製造ライン拡張に対応することができます。

真空およびプラズマの発生を妨げるマテリアルは、プラズマ洗浄に適していません。例えばシリコンや布等です。

無機汚染もプラズマ洗浄には適していません。無機汚染および有機汚染が存在する製品の洗浄の場合、湿式化学洗浄でプレ洗浄することによりプラズマ洗浄を行うことも可能です。

大部分のプラスチック、メタル、ガラス、セラミックス、ゴム/天然ゴム、フォーム剤等、真空状態およびプラズマに耐久性を有する素材がプラズマ洗浄に適しています。

低圧プラズマ洗浄により吸着力が強化されます